IRE RAS

Laboratory of Low Dimensional Nanostructures

Contacts
Staff
Publications
Projects
Equipment


Equipment

Установка SMI3050 FIB производства компании SII NanoTechnology Inc. для травления с помощью сфокусированного ионного пучка с разрешением до 4 нм.

Сканирующий электронный микроскоп EsB 1540 CrossBeam (компания Сarl Zeiss) с разрешением 1 нм.

Оптический микроскоп Аxio-Imager (компания Сarl Zeiss) c видеокамерой и интерферометрическим контролем толщины структур.

 

 

Contacts | Staff | Publications | Projects | Equipment
IRE RAS